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中國計量研究院建立新裝置提升了我國粒子計數的測量水平
2011-6-21 17:00:18

          近日,中國計量科學研究院(以下簡稱中國計量院)研究建立的潔淨空氣中顆粒計數計量校準裝置提高了我國在粒子計數的測量水平,解決了此領域長期依賴國外進口儀器的現狀,提高了我國粒子計器的生產能力和國際競爭力。

       塵埃粒子計數器就是用於測量潔淨環境中單位體積內塵埃粒子數和粒徑分布的儀器。它可廣泛應用於為藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等權威機構,以及生物、製藥、半導體、光學或精密機械加工等生產企業。項目負責人、中國計量院化學所程惠玲介紹,空氣中顆粒物汙染是許多行業生產及加工工藝中主要的汙染來源,準確評價空氣潔淨度已經成為許多行業生產和AG亚游官网产品檢測的要求。如在電子行業及芯片製造工業中,氣體中微小顆粒物的沉積就會造成電氣不良特性甚至更大的破壞。特別是近年來芯片線寬已經達到微米和亞微米級,這就對廠房內的空氣潔淨度提出了更高的要求。隨著《國家中長期科學和技術發展規劃綱要》的貫徹執行,作為16個重大發展專項的核心電子器件、高端通用芯片、重大新藥創製將會得到快速發展,這就使得顆粒計數測量和監測變得更加迫切。
  
      “在研究中,AG亚游官网通過采用國際先進的‘激光粒子計數器——凝結核粒子計數器——氣溶膠靜電計(或掃描電子顯微鏡)’逐級溯源法,使標準粒子計數器的粒子計數值溯源至國家電流標準和傳統的顯微計數法,保證了粒子計數的溯源性和準確性。”程惠玲認為這是該項目的一大創新點。
  
  程惠玲介紹,通過該項目的實施,建立了我國塵埃粒子計數器的計量校準裝置和溯源方法。建立的校準裝置填補了我國塵埃粒子計數器實物計量標準的空白,為我國塵埃粒子計數器的量值溯源和傳遞提供了堅實的基礎和保障,有力推進了我國《塵埃粒子計數器》國家校準規範及《塵埃粒子計數器性能試驗方法》的有效實施。
 

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